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超純水設備是採用預處理、反滲透技術、超純化處理以及後級處理等方法，將水中的導電介質幾乎完全去除，又將水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度的水處理設備。一般是反滲透設備跟離子交換混床或EDI相結合配套使用，離子交換混床是通過離子交換樹脂在電解質溶液中進行的，可去除水中的各種陰、陽離子，是目前製取高純水工藝流程中不可替代的手段。
離子交換器分為陽離子交換器、陰離子交換器等。 當原水通過離子交換柱時，水中的陽離子和水中的陰離子（HCO3-等離子）與交換柱中的陽樹脂的H+離子和陰樹脂的OH-離子進行交換，從而達到脫鹽的目的。陽、陰混柱的不同組合可使水質達到更高的要求。
電去離子(EDI)系統主要是在直流電場的作用下,通過隔板的水中電介質離子發生定向移動，利用交換膜對離子的選擇透過作用來對水質進行提純的一種科學的水處理技術。電滲析器的一對電極之間,通常由陰膜,陽膜和隔板多組交替排列,構成濃室和淡室(即陽離子可透過陽膜,陰離子可透過陰膜).淡室水中陽離子向負極遷移透過陽膜,被濃室中的陰膜截留;水中陰離子向正極方向遷移陰膜,被濃室中的陽膜截留,這樣通過淡室的水中離子數逐漸減少,成為淡水,而濃室的水中,由於濃室的陰陽離子不斷湧進,電介質離子濃度不斷升高,而成為濃水,從而達到淡化,提純,濃縮或精製的目的。
EDI裝置進水指標
系統性能指標
工藝選型推薦
■ 預處理系統
一般包括原水泵、加藥裝置、石英砂過濾器、活性炭過濾器、精密過濾器、超濾等。其主要作用是降低原水的污染指數（SDI）、余氯，藻類，細菌等其他雜質，達到反滲透的進水要求。預處理系統的設備配置應該根據原水的具體情況而定。
■ 反滲透裝置處理系統
主要包括多級高壓泵、反滲透膜元件、膜殼（壓力容器）、支架等組成。其主要作用是去除水中的雜質，使出水滿足使用要求。
■ 反滲透裝置後處理系統
是在反滲透不能滿足出水要求的情況下增加的配置。主要包括混床、殺菌、EDI等其中的一種或者多種設備。後處理系統能把反滲透的出水水質更好的提高，使之滿足使用要求。
■ 反滲透裝置清洗系統
主要有清洗水箱、清洗水泵、精密過濾器組成。當反滲透系統受到污染出水指標不能滿足要求時，需要對反滲透進行化學清洗使之恢復功效。
■ 反滲透裝置電氣控制系統
是用來控制整個反滲透系統正常運行的。包括儀錶盤、控制盤、各種電器保護、電氣控制櫃等。
（1）電子、半導體行業：製取電子工業生產如單晶矽半導體集成電路塊，顯象管，玻殼，液晶顯示器等製造工業用純水、超純水機。
（2）醫藥行業用水：製藥、製劑工藝用水，醫療血液透析、生化分析、輸液等。
（3）鍋爐水處理：石油、化工、煉油、火力發電、電力、製取熱力、冶金、食品、造紙等行業中鍋爐，廠礦企業高、中、低壓鍋爐給水所需軟化水、除鹽純水。
（4）飲料行業：飲用純淨水、蒸餾水、天然水、礦泉水、礦化水、酒類生產白酒勾兌用純水、啤酒糖化投料用水及純生啤酒過濾等。
（5）賓館、樓宇、社區優質供水網絡系統及游泳池水質淨化。
（6）製取電鍍工藝用去離子水、電池(蓄電池)生產工藝的純水，汽車、家用電器、建材產品表面塗裝、清洗純水，鍍膜玻璃用純水，紡織印染工藝所需的除硬鹽水。
（7）石油化工行業：如化工反應冷卻、化學藥劑、化肥及精細化工、化妝品製造過程用工藝純水
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